1. Pite
Pite sib sputtering la ta dwe omwen 99.95 pousan. Plis pite a pi wo, se pi bon pèfòmans fim nan sputtered.
2. Dansite
Dansite relatif sib sputtering la ta dwe plis pase 98 pousan. Sib la ak pi wo dansite ka diminye pwojeksyon nan patikil fim pandan pwosesis la kouch, kidonk amelyore kalite fim nan.
3. Estrikti grenn
Molybdène sib sputtering se yon estrikti polikristalin. Pandan sputtering, atòm sib yo fasil sputtered sou direksyon ki pi byen ranje nan atòm egzagonal yo. Yo nan lòd yo reyalize pousantaj la sputtering maksimòm, li nesesè ogmante pousantaj la sputtering pa chanje estrikti nan kristal nan sib la.
4. Gwosè grenn
Gwosè grenn lan ka varye ant mikron ak milimèt. Pousantaj sputtering nan sib la ak grenn amann se pi vit pase sa yo ki nan sib la ak grenn koryas, ak distribisyon an epesè nan fim nan depoze tou se relativman inifòm pou sib la ak yon ti diferans gwosè grenn.
5. Liaison sib ak chasi
Anvan sputtering, sib la ta dwe konekte ak chasi an kwiv san oksijèn pou asire ke konduktiviti tèmik ant sib la ak chasi a bon. Apre obligatwa, enspeksyon ultrasons yo dwe fèt pou asire ke zòn ki pa obligatwa nan de a se mwens pase 2 pousan, konsa tankou satisfè kondisyon ki nan gwo pouvwa sputtering.
